中微公司申请多孔塞组件专利，降低粘合层被等离子体腐蚀的风险
金融界2024年7月2日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种多孔塞组件、静电吸盘及等离子体刻蚀装置”的专利，中微公司申请多孔塞组件专利，降低粘合层被等离子体腐蚀的风险公开号CN202211717146.9，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种多孔塞组件、静电吸盘及等离子体刻蚀装置，多孔塞组件包括：具有多孔结构的多孔塞本体，气体由所述多孔塞本体的底表面进入，穿过所述多孔塞本体，由所述多孔塞本体的顶表面流出；绝缘的致密层，包括侧向部和横向部，所述侧向部形成于所述多孔塞本体的侧壁，所述横向部自所述侧向部的顶端至少向远离所述多孔塞本的方向和靠近所述多孔塞本体的方向中的一个方向延伸。横向部降低了粘合层被等离子体腐蚀的风险。该多孔塞组件还减小了放电空间，降低了产生电弧的风险。该多孔塞组件还有效解决了粘接层封堵多孔塞本体的问题。
标签： 中微公司申请多孔塞组件专利降低粘合层被等离子体腐蚀的风险
相关文章
-
轻松掌握，如何一键开启相机权限，让手机摄影更自由详细阅读
亲爱的朋友们,你是否曾遇到过这样的尴尬：当你兴奋地想要记录下生活中的某个精彩瞬间，却发现手机相机无法使用？这通常是因为相机权限没有正确设置，别担心，我...
2025-10-01 88
-
探索最佳拍照软件，捕捉生活瞬间的艺术详细阅读
在数字时代,拍照已经成为我们记录生活、分享情感的重要方式，无论是专业的摄影师还是普通的手机用户，拥有一款功能强大、操作便捷的拍照软件是必不可少的，本文...
2025-09-30 82
-
AI绘图生成器，未来艺术与设计的魔法画笔详细阅读
想象一下，你是一位热爱绘画的艺术家，但今天你不想拿起画笔，只想轻松地创作出一幅美丽的画作，或者，你是一位忙碌的设计师，需要快速制作出一张吸引人的海报，...
2025-09-28 89
-
探索无限可能，免费下载相机变变变，让摄影变得如此简单！详细阅读
亲爱的摄影爱好者们，你是否曾经梦想拥有一台能够随时变换功能的神奇相机？这个梦想不再遥不可及！“相机变变变”是一款革命性的免费应用，它将彻底改变你拍摄照...
2025-09-28 232
-
家庭安全新选择，家用监控系统的成本与价值分析详细阅读
随着科技的发展,家庭安全变得越来越重要，家用监控系统成为了众多家庭的首选，本文将为您详细解析家用监控系统的成本，以及如何根据您的需求选择合适的监控设备...
2025-09-28 80
-
探索高端摄像机，价格、性能与价值的完美平衡详细阅读
亲爱的读者们，你是否曾经在摄影器材店前驻足，被那些高端摄像机的精致外观和卓越性能所吸引？或者在社交媒体上看到那些令人惊叹的照片和视频，好奇它们是如何被...
2025-09-28 74
-
魔法变变变，让你的照片焕发新生的神奇软件详细阅读
亲爱的朋友们，你是否曾经梦想拥有一根魔法棒，轻轻一挥，就能让普通的照片变得生动有趣？或者，你是否曾希望有一款软件，能够让你的照片瞬间变换风格，从复古到...
2025-09-28 80
-
解锁创意之门，免费高清图片素材软件的魔法详细阅读
你是否曾经在制作演示文稿、设计网站或者编辑社交媒体帖子时，因为找不到合适的图片素材而感到头疼？或者，你是否曾经因为版权问题而不敢使用某些图片？别担心，...
2025-09-27 81