金融界2024年7月2日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种多孔塞组件、静电吸盘及等离子体刻蚀装置”的专利，中微公司申请多孔塞组件专利，降低粘合层被等离子...

2024-07-08 631 中微公司申请多孔塞组件专利降低粘合层被等离子体腐蚀的风险