《科创板日报》9月3日讯据韩媒TheElec爆料，三星正在测试由东京电子（TEL）提供的气体团簇光束（GCB）设备，以期改进其极紫外（EUV）光刻工艺。东京电子方面证实，公司正在与客户正一同评估该设备...

2024-09-04 1.2K+ 可改进光刻工艺传三星正测试设备或成先进制程降本利器